THK導軌的選定技巧
2007-07-06
將鋼珠的循環運動應用于直線導軌的“線性導軌”上,從開發至今約有35年了。國內外的制造廠商銷售著各種工產品,雖然外觀相似,但在不同的業界,有不同的用法。不使用Z合適的產品就不能100%發揮線性導軌的卓越性能。 本文討論設計范例大多取向一般工業機械。這個領域大多使用重視垂直荷重的“徑向型”與均等承受上下左右四個方向的荷重的“四方向等負荷型”。 問題之一 安裝面精度越高,價格越高 一般來說,機械零件一經組裝,各部件的誤差會累計起來,大多數范例都是導致組裝完畢后的精度下降。但是,在采用鋼珠的線性導軌中,有因鋼珠產生彈性變形而吸收安裝面誤差,或依鋼珠與鋼珠滾動槽之間的接觸結構,誤差不但不會積累,反而較原誤差小的產品類型。 不了解這種情況而將安裝面精度過分提高則會增加整體制造成本。 吸收安裝面誤差 按標準形導軌寬度25mm與無預壓的普通間隙產品的2軸平行的允許誤差進行比較時,徑向形“SR25”為50μm,四方向等負荷形“HSR25”為30μm,軌道上下的允許誤差按標準型導軌寬度25mm進行比較時,“SR25”為200μm,“HSR25”為130μm,允許值極大。允許值大的線性導軌不必將安裝面精度提得太高就可以符合要求。因此,機械加工費用降低,而且組裝、校直作業簡單,從而減少加工、組裝工時,其結果就可以制造出整體價格較有競爭力的裝置。 型號越大,允許誤差就越大。不論從荷重、壽命的選定觀點還是從安裝面吸收誤差量的觀點出發,重要的是選擇型號稍大些的導軌。 但是,在選擇時要注意到這個允許值會隨著線性導軌的制造廠家而異。超出允許值則會很快結束使用壽命。 有使精度平均化的效果 組裝好工作臺后,線性導軌吸收誤差,提高工作臺上的移動精度的效果稱為精度平均化效果。這個效果依工作臺或機床的剛性而改變,有報告顯示精度可提高安裝面誤差值的1/4-1/7。 基于鋼珠的赫茲理論的分析結果為1/4.4,這是理論上將導軌、滑塊、安裝螺母等作為剛體看待得出的近似結果。考慮到這一點,實際應當比1/4.4小。將給定的校直誤差量與工作臺的實際變位置量的比稱為精度平均化系數,而經實驗,該系數為1/7.1。我們認為1/7.1的試驗結果有相當的可靠性。 因此,線性導軌具有將安裝導軌的基礎加工及組裝時產生的垂直度、平面度、平行度等校直誤差平均化后進行吸收的特點。 巧妙地利用這一功能特性可以制造高精度的工作臺,使用一般工業用的線性導軌也能獲得0.6μm/110mm的上下精度(垂直度),可以應用于精度要求嚴格的半導體制造裝置。 因為這個平均化效果之值隨線性導軌的制造廠家而異,所以需要根據所選定的線性導軌進行相應的設計。 線性導軌的誤差吸收方法 有的線性導軌是考慮誤差吸收方法進行設計的。要安裝在難以加工和獲得精度的平面部位時,可以選擇鋼珠的接觸構造為DF(正面組合)構造的產品構成容易吸收誤差的結構。 因為“自動調整”好的DF構造的線性導軌將安裝面的傾斜經由導軌本身進行吸收,所以組裝在滑塊上的工作臺不易變形。 要進一步提高線性導軌的“自動調整功能”,需要提高工作臺的剛性。工作臺的剛性是提高使用線性導軌的裝置的精度的重要因素。 問題之二 動態剛性不足 如果動態剛性不足,加工機械會因振動而造成加工面報廢,測定檢查裝置因衰減性不佳而造成測定值不穩定。 工作臺的剛性出乎意料的小 負擔荷重的剛珠數依型式而異。“HSR35R”為24個,一個滑塊的允許荷重大至61.1KN。如果組裝的工作臺的剛性小的話,組成裝置時,可能因工作臺剛性不足而得不到設計的預想性能。 將4個“HSR35R”支撐壁厚為30mm的加強肋構造鑄件工作臺看成支撐間距為1000mm、寬度為500mm、高度為變量hmm的兩端單純支撐梁。 假定在中心部有集中荷重W=10KN作用,使梁的Z大變位(施加預壓)為15μm,滑塊部分的變位為2.0μm時,工作臺的高度需要370mm,工作臺的重量為9.1KN。 因為導軌的剛性需要大到使用370mm厚度的工作臺,所以設計上必須采用不易產生局部變形的輕量、高剛性的構造。 提高工作臺剛性的方法 無法充分獲得上述的工作臺剛性時,給線性導軌加預壓或增加線性導軌的滑塊數量可以提高剛性。在以上例子中增加滑塊為4個和6個后的工作臺動態剛性分別得到2倍和1.5倍的改善。但對于同樣的工作臺,4個和6個的滑塊各經預壓后,6塊的動態剛性改善11-13倍。 如果使用線性導軌的工作臺的滑塊間的距離過寬,工作臺中心部位的剛性有不足的傾向。如果只使用4個滑塊,即使在荷重與壽命方面沒有問題,也有可能不滿足剛性方面的規格要求。在這種情況下,可改用小型號的導軌,承受荷重的滑塊越多,性能改善效果越大。 問題之三 壽命短 壽命短的原因多在與潤滑或防塵有問題 專用潤滑很有效 要充分發揮線性導軌的功能,必須根據各種使用條件選擇潤滑劑,在不加油的狀態下使用有可能會增加滾動部位的摩擦或成為壽命縮短的原因。 潤滑劑具有以下的作用: 1、 減少各活動部位的摩擦,防止燒焦,減少摩耗。 2、 在鋼珠面上形成油膜,緩和作用于表面應力,增長鋼珠的壽命。 3、 在金屬表面覆蓋油膜,防止生銹。 表1列舉一般使用的潤滑劑。近年來各廠家都開發了生產線性導軌的專用潤滑劑。

(表1) 除一般使用的潤滑劑外,還有在特殊環境下具有卓越潤滑性能的潤滑劑,如表2:

(表2)
在類似進行微動行程的使用條件下,由于線性導軌的鋼珠不能充分轉動,會發生潤滑不到或因局部做動而造成的油膜消失,導致一部分之早期摩耗之發生。這對線性導軌來說是一種苛刻的使用條件。 但Z近開發的油膜強度很強的專用潤滑脂(品名:AFC潤滑脂)使線性導軌能夠充分發揮其卓越的性能了。一般軸承用潤滑脂會發生微動腐蝕(因振動造成的局部磨損)使轉動部位凹下,但AFC潤滑脂不會發生這種情況。 此外,半導體制造裝置要求在從低溫到高溫的大范圍溫度下保持低發塵性。以往是用真空潤滑脂代替低發塵用潤滑脂。其后開發了性能更高的清潔環境用低發塵潤滑脂(品名:AFE潤滑脂)。 除線性導軌外,它們還可以當作滾珠絲杠及各種單元制品的潤滑脂。 在工作母機等切削液飛濺的環境下可以采用油不容易流失、防銹性能好的潤滑油(品名:LM油),在混入切削液的LM油試驗中,它具有以往產品的約2倍的潤滑性。 這些根據不同用途開發的線性導軌專用潤滑劑使線性導軌能發揮其卓越的性能。 防塵用各種密封墊 選定線性導軌時,和左右壽命的潤滑劑一樣,防塵對策也是Z為重要的。如果導軌中混入灰塵或異物,就會成為異常磨損及壽命縮短的原因。 在環境惡劣的使用條件下,多采用組合安裝防塵密封墊的方法。Z近根據新的想法開發出內部密封墊。裝在線性導軌的滑塊內部的內部密封墊具有防止線性導軌的鋼珠滾動溝槽內混入異物的卓越功能。 各種密封墊的作用不同,在線性導軌的行進方向的正面使用端部密封墊;在側面的下側使用側面密封墊;對于易于混入滑塊內部的細微異物,內側的內部密封墊發揮其防塵機能。 實驗表明,內部防塵墊的使用,比僅使用端部、側部防塵墊要減少20%以上的灰塵量。 問題之四 噪音大 以往的線性導軌會因滑塊中的鋼珠相互撞擊而發出聲音。該接觸部位因油膜破裂而發生鋼珠接觸部位與金屬直接接觸、摩擦發熱、壽命縮短的情況。 所以將眾所周知的回轉軸承之鋼珠保持器應用于線性導軌之上。 附鋼珠保持器之線性導軌在鋼珠之間夾入保持器,左右兩邊用帶子固定該保持器形成一條無限循環的圓圈,并將之置入線性導軌的鋼珠循環部位。 鋼珠保持器使鋼珠之間不會產生撞擊,因而完全不會發出撞擊聲。 鋼珠循環部位與鋼珠保持器形成的空間內填充的潤滑脂在鋼珠轉動的同時被帶入鋼珠和鋼珠保持器的接觸面上。 因為鋼珠表面不斷形成薄油膜,所以油膜不會消失。由此,鋼珠接觸部位不會與金屬直接接觸,可抑制發熱,增長壽命。 保持器的另一個效果是鋼珠循環的連貫性。它以在滑塊移動的同時產生的滾動阻力變動的形式顯著地表現出來。 滾動阻力的變動隨各鋼珠的規則轉動(移動)而變小,隨其規則性的喪失而增大。附鋼珠保持器線性導軌的鋼珠因有著保持器而呈直線運動,鋼珠的轉動(移動)的一連串動作都顯示出極端的規則性。